渦輪分子泵的啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器和電子器件制造等方面。那么，渦輪分子泵為什么到了一定時(shí)間內(nèi)要充氣？
當(dāng)渦輪分子泵關(guān)閉或運(yùn)轉(zhuǎn)極慢時(shí)，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內(nèi)壓力梯度）來阻止前級側(cè)存在的碳?xì)浠衔锿ㄟ^渦輪葉片向真空室進(jìn)行返流。這種現(xiàn)象稱作反擴(kuò)散或分子返流。在靜態(tài)條件下，整個(gè)系統(tǒng)的壓力均衡時(shí)，在前級管道側(cè)，油的分壓力通常為10-4～10-6Torr（或13.33mPa～133.3μPa）zui后也會波及到泵的入口處。當(dāng)泵關(guān)閉時(shí)，適當(dāng)?shù)亟o泵內(nèi)充氣是控制油分子返流，保持真空室內(nèi)無碳?xì)浠衔锏囊环N有效的措施。
當(dāng)停泵后，碳?xì)浠衔锓盗骱芸焱ㄟ^泵進(jìn)入真空室內(nèi)，如果系統(tǒng)仍保持在真空狀態(tài)下，碳?xì)浠衔飳吃谇鍧嵉娜~片和真空室的表面上。在隨后再運(yùn)轉(zhuǎn)該系統(tǒng)時(shí)，將極難抽除粘著的碳?xì)浠衔?。另一方面，在渦輪分子泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，如果給泵充入干燥氮?dú)饣蚋稍锟諝?，則該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護(hù)層，而且在系統(tǒng)充氣后，返流的碳?xì)浠衔镉捎谂c充入的氣體混合起來，從而它的粘著能力很弱，在混合氣體中碳?xì)浠衔锼急壤龢O小，在下一次抽空時(shí)也很快就能被抽走。